注1 ：換算成標準狀態(tài)（20℃ 1個(gè)大氣壓（101kPa）、相對濕度65％Rh）下的體積流量
注2 ： 請使用不含氯、硫磺、氧等腐蝕成分的干燥氣體，不含灰塵及油霧的潔凈氣體。使用壓縮空氣時(shí)，請使用JIS B 8392-1:2012 等級 1.1.1～1.6.2的清潔空氣。來(lái)自空壓機的壓縮空氣含有冷凝水（水、氧化油、異物等）。為了保持本產(chǎn)品的功能，請在本產(chǎn)品的一次側（上游）安裝過(guò)濾器、空氣干燥器（低壓力露點(diǎn)10℃以下）及精密過(guò)濾器（大油份濃度0.1mg/m3）后使用。（請參閱第72頁(yè)的推薦回路。）氧氣用為型。為了防止火災，在已經(jīng)通入氧氣以外的流體時(shí)，請勿再次通入氧氣。
注3 ：精度以本公司的標準流量計為基準，并不表示精度。精度±3%F.S.不包括重復精度、溫度特性、壓力特性。請根據使用環(huán)境、使用條件另行考慮。
注4 ：短期的重復精度。不含經(jīng)時(shí)變化。（詳情請確認產(chǎn)品規格書(shū)。）
注5 ：實(shí)際響應時(shí)間根據配管條件的變化而改變。
注6 ： 模擬輸出電壓輸出型的輸出阻抗約為1kΩ。連接負荷的阻抗較低時(shí)，輸出值的誤差會(huì )變大。請在對連接負荷的阻抗下的誤差進(jìn)行確認的基礎上使用。
注7 ：電壓輸出型與電流輸出型的電源電壓規格不同，敬請注意。
注8 ：連接DC24V、未連接負荷時(shí)的電流。消耗電流因負荷的連接狀態(tài)而異，敬請注意。
注9 ：本產(chǎn)品的保護回路僅對特定的誤連接、負荷的短路有效，并不確保能夠應對各種誤連接。
注10 ： 本產(chǎn)品對氣流引起的熱分布變化進(jìn)行測量?？v向安裝時(shí)，可能因對流的影響而導致熱分布變化、零點(diǎn)偏移。注11 ：配管條件可能會(huì )影響精度。為提高測量精度，請設置10倍于配管內徑的直管部。 500L/min、1000L/min型號請使用內徑9mm以上的配管。如為9mm以下，精度可能會(huì )變差。
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